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    掃描電鏡的工作原理，從電子偏光顯微鏡的電子槍陰極發(fā)出的電子，經(jīng)柵極調(diào)制，受1-30千伏高壓加速，經(jīng)過三個(gè)磁透鏡三級縮小，形成一個(gè)直徑小于100埃的高能電子束。電子束由二組掃描線圈調(diào)制，高速地打在樣品表面，在樣品表面激發(fā)出二次電子、背散射電子、俄歇電子、透射電子、吸收電子、內(nèi)部電動勢、X射線、陰極發(fā)光等一系列信息。

    各種電子信息經(jīng)各種探測器接收，再經(jīng)過幾級放大和處理，隨樣品表面形貌、材料等因素而變。電子信息經(jīng)視頻放大器進(jìn)一步放大，調(diào)制顯像管熒光屏的亮度。由于顯像管偏轉(zhuǎn)線圈和鏡筒中掃描線圈中的掃描電流是嚴(yán)格同步的。因此，探側(cè)器逐點(diǎn)檢取由樣品表面各個(gè)部位產(chǎn)生的信息，由于樣品表面的幾何形狀、化學(xué)成分和電位分布等存在的差異，使電子束從樣品表面掃描范圍內(nèi)各部位激發(fā)出來的電信號也不同，從而產(chǎn)生信息反差。于是，在顯像管熒光屏上形成反映樣品表面形貌或元素分布的掃描電子圖像。

    在掃描電鏡上，一般有兩個(gè)顯像管:一個(gè)是長余輝的，用以觀察多另一個(gè)是短余輝的，用以記錄拍照，可由一個(gè)轉(zhuǎn)換開關(guān)加以選擇。

    掃描電鏡通常是由電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、電子信息收集、處理和顯示系統(tǒng)、電x系統(tǒng)等幾部分組成。另外，為了對樣品作不同的測試目的，還可以配合有x射線譜儀(包括光譜儀和能譜儀)、陰極發(fā)光系統(tǒng)、電子能量損失譜儀等各種不同用途的附件。日本島津生產(chǎn)的EMX-SM型電子探針掃描電鏡，最多可以同時(shí)安裝7個(gè)X光光譜儀。如美國ARL公司的掃描電鏡光量計(jì)SEMQ最多可裝12個(gè)固定光譜儀，或者裝2個(gè)掃描線性光譜儀和8個(gè)固定光譜儀，能同時(shí)分析多種元素。