顯微鏡同軸光可以分內(nèi)同軸和外同軸:內(nèi)同軸是指光束通過物鏡內(nèi)的鏡片落射到被觀測物體上,外同軸是指圍繞在物鏡外側(cè)的一圈光束,落射到被觀測物體上。通常內(nèi)同軸是點(diǎn)光,外同軸是環(huán)型光。同軸光的主要特點(diǎn)是光照角度和光學(xué)成相角度小,光線反射就小,觀察物體也就更清晰,通常同軸光主要運(yùn)用在透明觀測物體上面,比如(晶元、LCD液晶屏幕、CCD鏡頭)我們使用常規(guī)的側(cè)光源照明是不能看到透明物體上的劃痕還有污點(diǎn),因為側(cè)光的反光角度不在成相角度上,所以很難分辨劃痕或者污點(diǎn)。外同軸光也會多少存在這個問題,因為它的角度和成相角度也不是吻合的,最好的解決方法就是內(nèi)同軸光,可以清晰的分辨出劃痕還有污點(diǎn)。
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